永利国际娱乐首页(Wafer)
是永利国际娱乐首页晶体圆片的简称,为圆柱状永利国际娱乐首页晶体的薄切片,用于集成电路制程中作为载体的基片,由于其形状为圆形,故称为永利国际娱乐首页。最常见的是硅永利国际娱乐首页,另外还有氮化镓永利国际娱乐首页、碳化硅永利国际娱乐首页等;一般永利国际娱乐首页产量多为单晶硅圆片。
永利国际娱乐首页是最常用的永利国际娱乐首页材料,按其直径分为2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等规格,永利国际娱乐首页越大,同一圆片上可生产的集成电路(Integrated Circuit, IC)就越多,可降低成本;但对材料技术和生产工艺的要求更高,例如均匀度等等的问题,使得近年来永利国际娱乐首页不再追求更大,有些时候厂商会基于成本及良率等因素而停留在成熟的旧工艺。一般认为硅永利国际娱乐首页的直径越大,代表着永利国际娱乐首页厂有更好的技术,在生产永利国际娱乐首页的过程当中,良率是很重要的标准。
加工处理过后的永利国际娱乐首页
【制造过程】
柴可拉斯基法示意图
很简单的说,首先由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就得到了单晶硅圆片,也即单晶硅永利国际娱乐首页。
1.将二氧化硅矿石(石英砂)与焦炭混合后,经由电弧炉加热还原,即生成粗硅(纯度98%,冶金级)。SiO2 + C = Si + CO2 ↑
2.盐酸氯化并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅(永利国际娱乐首页级纯度11个9,太阳能级7个9),因在精密电子器件当中,硅永利国际娱乐首页需要有相当的纯度(99.999999999%),不然会产生缺陷。
3.永利国际娱乐首页制造厂再以柴可拉斯基法将多晶硅熔解,再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。这根晶棒的直径,就是永利国际娱乐首页的直径。
4.硅晶棒再经过切片、研磨、抛光后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅永利国际娱乐首页片,就是“永利国际娱乐首页”(wafer)。
5.永利国际娱乐首页经多次光掩模处理,其中每一次的步骤包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、渗透、植入、刻蚀或蒸著等等,将其光掩模上的电路克隆到层层永利国际娱乐首页上,制成具有多层线路与器件的IC永利国际娱乐首页,再交由后段的测试、切割、封装厂,以制成实体的集成电路成品。一般来说,大永利国际娱乐首页(12英寸)多是用来制作内存等技术层次较低的IC,而小永利国际娱乐首页(6英寸)则多用来制作模拟IC等技术层次较高之IC,8英寸的永利国际娱乐首页的话则都有。
从永利国际娱乐首页要加工成为产品需要专业精细的分工。
6英寸,8英寸,12英寸永利国际娱乐首页
【著名永利国际娱乐首页厂商】
英特尔(Intel)等公司自行设计并制造自己的IC永利国际娱乐首页直至完成并行销其产品。三星电子(Samsung)等则兼有永利国际娱乐首页代工及自制芯片业务。
永利国际娱乐首页基片制造厂商
永利国际娱乐首页代工厂商
封装测试厂商
【多晶硅生产厂商】
【IC设计厂商】
内存厂商
【生产设备】